サーパス工業株式会社では非常に多くの部品を販売していて、フローメーターや圧力センサーなどを購入できます。

さらにレギュレータの販売もあるのですが、こちらはケミカルレギュレータの販売を行っているのです。

マニュアルタイプとエアオペレートタイプが販売されていて、ウェハーの大口径化をしているため、大流量にも耐える事ができます。

外付けオリフィスというものもあるのですが、こちらは純水や薬液用定圧制御弁用のものになるのです。

取り付けると、2次流量を一定にすることが出来るというメリットがあります。

またレギュレータに関しては独自開発のスプリングを搭載していて、耐食性に優れている仕様となっているのです。

高性能なものがほしいなら検討してみるといいでしょう。